本文標(biāo)題："金屬材料及微元件表面輪廓測(cè)量?jī)x器-測(cè)量工具顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
人瀏覽過-----時(shí)間：2013-5-8 17:16:8
金屬材料及微元件表面輪廓測(cè)量?jī)x器-測(cè)量工具顯微鏡
一種新式的摩爾(Moiré)輪廓術(shù)之量測(cè)方法用于微元件之量測(cè)。
使用光柵片產(chǎn)生正弦條紋結(jié)構(gòu)光并結(jié)合由電腦產(chǎn)生之虛擬光柵互相疊加產(chǎn)生摩爾條紋影像。
此方法的優(yōu)點(diǎn)在于可以藉由調(diào)整虛擬光柵之周期來(lái)改變產(chǎn)生之摩爾條紋的周期，也因?yàn)槠鋬?yōu)越的調(diào)變性在量測(cè)時(shí)可避免階高量測(cè)范圍之限制。
不過有一個(gè)問題存在于摩爾條紋影像中，即兩個(gè)不同周期之條紋結(jié)構(gòu)光進(jìn)行疊加時(shí)，除了疊加的摩爾條紋部分以外，未疊加之高頻條紋結(jié)構(gòu)光亦會(huì)殘留于影像上，
使摩爾投光量測(cè)法受到影響。為了解決此問題，本研究提出了藉由光柵片產(chǎn)生之條紋結(jié)構(gòu)光經(jīng)投射至物體表面所產(chǎn)生之變形結(jié)構(gòu)光，
與電腦產(chǎn)生之具相同相位之虛擬光柵進(jìn)行四步相移進(jìn)行疊加，如此可獲得一清晰之摩爾條紋影像，
同時(shí)，經(jīng)投射至物體表面所產(chǎn)生之變形條紋結(jié)構(gòu)光再與經(jīng)相移(分別為pi/2, pi, 3pi/2)之虛擬光柵分別進(jìn)行上述之疊加演算，
如此可建立具四步相移之清晰摩爾條紋影像。由實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明，從標(biāo)準(zhǔn)件上多次階高塊之重復(fù)性量測(cè)結(jié)果得知，
所發(fā)展之系統(tǒng)在一個(gè)量測(cè)標(biāo)準(zhǔn)差均可低于1μm，且量測(cè)精密度與Keyence VK-9700掃描顯微鏡相比，
兩者之間之最大相異度在2%以下，相較于傳統(tǒng)四步相移法量測(cè)之精確度亦提升1%以上，顯示本研究所提出量測(cè)方法之優(yōu)越性。
后一篇文章：金屬金相參數(shù)量測(cè)光學(xué)儀器-檢測(cè)金相顯微鏡 »
前一篇文章：« 使用光學(xué)影像測(cè)量?jī)x器量測(cè)螺線管的長(zhǎng)度
tags:金相,金屬,金相顯微鏡,上海精密儀器,
金屬材料及微元件表面輪廓測(cè)量?jī)x器-測(cè)量工具顯微鏡,金相顯微鏡現(xiàn)貨供應(yīng)
本頁(yè)地址：/gxnews/730.html轉(zhuǎn)載注明
本站地址：/
http://www.xianweijing.org/