本文標題："試樣檢測顯微技術可同時觀測樣品表面形貌電子顯微鏡"
發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------
人瀏覽過-----時間：2015-10-19 4:4:2
試樣檢測顯微技術可同時觀測樣品表面形貌電子顯微鏡
以往對疇結構的研究主要利用了鐵電疇的電、光性質。利用對鐵電疇的力學
性質的觀察是一種新的嘗試。從電聲成像的壓電模型知道，所獲得的聲信號取決
于材料的壓電系數和能量耗散區壓電振動模式，即材料的力學性質提供了電疇成
像的襯度。
由于這種方法獨特的成像機理，掃描電聲顯微技術對電疇結構的研究具有非
常突出的優點：
(1)具有普遍適應的試樣檢測范圍，包括鐵電體、鐵彈體和鐵磁體，并不局限
于某些特殊的材料；
(2)非破壞性成像使電疇結構保持了自然形態，對樣品疇結構可進行實時動
態研究觀察；
(3)由于電聲顯微鏡具有亞表面成像能力，可獲得樣品亞表面疇結構信息；
(4)不需要對試樣做特殊的處理，不用進行拋光、減薄或者腐蝕等煩瑣的樣品
制備過程，大大簡化了對單疇進行觀察的實驗工作；
(5)可同時觀測樣品表面形貌(SEI)和疇結構形貌(EAI)，可以更為詳盡地研
究電疇結構與晶粒、晶界和缺陷等空間特性的關系；
(6)獲得的電疇圖像形貌清晰，有較高分辨率。
電聲顯微技術(SEAM)經過僅十余年的研究，在成像技術和成像理論方面都
有了很大的發展，被應用于眾多的材料研究領域并引起了廣泛的關注。其獨特的
成像機理和非破壞的亞表面觀察能力使其在進一步被推廣應用等方面具有很大的
潛力。
電聲顯微鏡應用于鐵電疇結構的研究只有3年，已取得了不少開創性的結果。
作為一種新的觀察電疇結構的方法，它豐富了電疇觀察手段。利用掃描電聲顯微
鏡實時研究電場作用下疇的成核、生長等運動規律；研究溫場作用下鐵電相變中疇
結構、疇運動規律；研究外加應力對電疇結構的影響；研究鐵電疇電聲成像的微觀
機制并完善對電聲成像的分析等構成了未來鐵電疇電聲學研究的主要內容。
當然，電聲顯微鏡在疇結構觀察方面的分辨率還有待提高，因為部分鐵電材料
的疇結構研究需要納米級的分辨率。鐵電疇電聲成像的理論框架雖然已經建立，
但其深入的理論還需要進一步完善。鑒于本章所述的鐵電疇電聲顯微成像的主要
優點，通過這些年的努力，電聲顯微鏡已經成為電疇觀察方法中的重要手段。
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