本文標題："SEM電子顯微鏡的原理簡介-儀器常識"
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SEM電子顯微鏡的原理簡介-儀器常識
SEM
的主要工作原理為電子鎗透過熱游離或是場發射原理產生高能電子束，經過電磁透鏡組后，可以將電
子束聚焦至試片上，利用掃瞄線圈偏折電子束，在試片表面上做二度空間的掃瞄
當電子束與試片作用時，會產生各種不同的訊號，如二次電子、背向散射電子、吸收電子、歐杰電子、特征X光??等。在
一般掃瞄式電子顯微鏡偵測系統上，主要為偵測二次電子及背向散射電子成像，這
些訊號經過放大處理后即可成像觀察
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