本文標題："電子顯微鏡SEM觀察S具有放大倍率高景深長的優點"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2013-3-17 10:23:24

掃描式電子顯微鏡（SEM）觀察SEM 具有放大倍率高、景深長之優點，

對于試片的細微結構及立體型態可做清晰觀察。本實驗將配合使用背向電子偵測器（BEI），觀察介面處是否有不同相生成。

此偵測器主要是利用輕元素其背向電子訊號較弱，重元素的背向電子訊號較強，

來分辨不同組成的相。亦將使用 SEM 上加裝之能量散佈光譜儀（EDS）來對生成的相做粗略的組成分析以利 EPMA 分析。

在 SEM 下觀察之影像可藉其附屬的照相系統拍照并傳輸至電腦中，

透過影像處理軟體 Optimas（Ver6.1）可進行影像處理及各相反應、生成物厚度的量測。以生成物的厚度為例，是先利用軟體求得生成物面積再去除以反應介面的長度來求得

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