本文標題："自適應光學鏡頭的設計制造-光學分析顯微鏡"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2017-10-20 1:8:39

自適應光學鏡頭的設計制造-光學分析顯微鏡

自適應反射鏡三種常見的形式。結構的特征在于利用強迫位移

作動器對運動進行控制，同時還使用了一系列力作動器。位移作動

器具有相對高的剛度，兇此可以作為支撐結構，以及作為控制鏡片

剛體運動的一種高效率的方式。力作動器通常是一種低效率的應用

方式，它可以在兩個點之間傳遞一個相等且反向的理想力對。為承

受自適應面形控制過程中產生的作動力，這種構型通常還需要使用

一個相對剛性的反作用結構。從圖中還可以看到，力矩作動器是通

過一一個力作動器加上一個力矩臂來實現的。結構的特征在于應用

了一系列高效率的位移作動器。在自適應面形控制以及組件承受載

荷的時候，位移作動器需要作用于一個剛性相對較大的反作用結構

上。描述的結構其特征在于使用了內置作動器的鏡片，并且鏡片裝

配在位移作動器上。由于作動載荷在鏡片內部發生作用，因而，這

種構型消除了對反作用結構的需求。不過，這種內置作動器的實現

方式，

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