本文標題："表面微觀形貌測量技術與儀器技術簡介"
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表面微觀形貌測量技術與儀器技術簡介
近年來隨著表面形貌研究的深入，又出現(xiàn)了許多新的評價表面
形貌的方法，特定功能參數(shù)集法，功率譜密度法，以及利用小波變
換方法來分析表征表面形貌等。
現(xiàn)代測量技術和計算機技術的發(fā)展，使測量和描述表面微觀形
貌更為簡單方便。目前，表面微觀形貌測量技術與儀器技術主要有
兩個分支：一是以觸針法為代表的接觸測量法；另一種是非接觸測
量法，主要是通過光學技術／電子來獲得表面形貌的信息。另外近
幾年發(fā)展起來的掃描隧道顯微技術和原子力顯微技術也被用來作為
測量超光滑表面微觀形貌的工具，使得表面形貌測量技術達到了分
子、原子尺度。
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