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本文標題："SEM要求被測樣品表層為噴金鍍膜導電材料"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2016-12-7 1:44:41

SEM要求被測樣品表層為噴金鍍膜導電材料

但是由于SEM要求被測樣品表層為導電材料(非導電樣品需進行表面

導電(噴金鍍膜)處理)，且測量時為防止空氣的存在導致電子發生

散射。需將所有電子運行部分處于高真空環境下。這些要求無疑提

高了檢測成本，限制了樣品的可觀測性，如對于具有微細結構的非

導電樣品，表面導電處理勢必會不同程度地遮蓋表面上的精細結構

。此外SEM無法直接獲得表面定量的三維形貌信息(Z方向尚未量化)

，而只能對表面形貌進行定性觀察。

SPM采用極細的探針(針尖曲率半徑一般為10～20 nm)逼近樣品

表面，通過檢測探針針尖與樣品表面之間的相互作用信息(力、電

、磁、熱)獲得樣品的表面形貌(磁疇結構、熱導性質等)。最為典

型的當屬掃描隧道顯微鏡(Scanning Tunneling Microscope，STM)

及原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope，AFM)。其中的STM基

于隧道效應理論，它將探針和樣品表面作為兩個電極并在兩極上施

加偏置電壓，通過檢測探針與樣品間隧道電流的變化來獲得表面形

貌。這種方法的縱橫向分辨率可分別達到0．01 nm和0．1 nm，但

為了使樣品與針尖間構成回路，STM要求被測樣品表面為導體。

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