本文標題："光學顯微鏡采用非接觸方法來測量表面粗糙度"
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光學顯微鏡采用非接觸方法來測量表面表面粗糙度儀
使用照相記錄的斑紋干涉量度學
干涉儀是測量波列之間相位差的光學儀器，由此推論，它
也是利用光的波長測量長度的光學儀器．
指出，當光的波列本身是復雜的亦即是斑紋圖樣場時，不能直
接作出這些測量．需要實行某種光學處理來提取信息．在很
多情況下，這個中間步驟最好是通過照相記錄斑紋圖樣強度
分布來實現(xiàn)．當然必須使用能分辨斑紋的照相材料，這可能
需要使用細顆粒的全息干板或膠片．照相法的優(yōu)點不僅在
于能提供一個光學濾波器重新插入光學系統(tǒng)中，能作“活”
測量，而且用雙曝光法能永久記錄一段時間內(nèi)發(fā)生的相位變
化．全息干涉量度學中使用照相記錄的情況與此類似．
需要尋找一種良好的非接觸方法來測量表面應變，即一
種取代常規(guī)應變計的方法，無疑地促進了斑紋干涉量度學的
發(fā)展．雖然已經(jīng)知道全息干涉量度學，能夠測量三維空間
內(nèi)總的表面位移和形變，但實際上要把運動的面內(nèi)分量與離
面分量分開是困難的．而且這個方法對位移和轉動的不同方
向的靈敏度可以顯著不同．要測量應變，我們只需要測量面
內(nèi)位移，并找出它的變化與所要求的方向上的距離之間的函
數(shù)關系．將要指出，斑紋干涉量度學能做到這一點，與垂直于
表面的方向上發(fā)生的任何位移無關．
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