本文標(biāo)題："零件表面的幾何形狀的特征分析粗糙度顯微鏡"
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零件表面的幾何形狀的特征分析表面粗糙度儀顯微鏡
物體受熱和受力的作用，使它的表面層產(chǎn)生干涉條紋，根據(jù)
條紋的特點來觀察有無異常現(xiàn)象是上述方法的實質(zhì)。可以用點式
熱源(例如，炭精電極之間的電弧、紅外波段工作的激光器發(fā)射
的光束)，或冷源(例如干冰)做為熱源。力的作用可以是機械載
荷式的，或是恒磁作用式的。源點的照射可以是固定的或掃描的
。掃描的速度和方向由具體條件決定。同時受兩個甚至三個不同
溫度的熱源的瞬時加熱作用，就足以造成溫度的梯度，它將導(dǎo)致
產(chǎn)生彎曲力矩，并可利用干涉條紋中斷、彎曲和不對稱等現(xiàn)象，
查明缺陷的局部位置。
被研究零件表面的積分狀態(tài)的特殊圖象，同樣可以用二次方
或更高次方的圓周、橢圓及其它曲線的封閉幾何形狀的特性來求
算。噴油系統(tǒng)精密零件一般都是尺寸小而剛度大的。零件變形的
程度也很小，所以用一般系統(tǒng)的全息照像法測定零件的變形是困
難的。在這種情況下，只有改變參考光束和物體光束在全息圖上
的交角，以及在記錄并處理全息圖圖象之后，稍稍改變照射它的
光束的方向來調(diào)節(jié)它的靈敏度。
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