本文標題："高精度微細加工的測定與品質分析圖像顯微鏡"

高精度微細加工的測定與品質分析圖像顯微鏡

電解電壓對電解拋光加工特性之影響

電解電壓主要是參考電解液之陽極極化曲線，來
設定我們所要的參數，分別為 1V、2V、3V、5V、7V。

由孔壁表面SEM電子顯微鏡，電解電壓 1V 加工時間 5 分鐘后，孔壁表面并
無明顯的加工現象，由多個放電坑洞所形成的放電痕，也就是所謂的
嶺高部分，僅些微的尖端產生解離而溶除。而使用電解電壓 2V 時為
鈍態區電壓，此時電解狀態易形成不動鈍態，即陽極解離緩慢甚至停
止，但其加工量恰好約為變質層厚度時開始接近鈍態，此時主要加工
機制為腐蝕作用。

電解電壓 3V 時為過鈍態區之電解電壓，此區域中陽極開始解離
出現氧氣，金屬被活化而腐蝕解離，

實驗工件材料為軋延之薄板，因此會有孔蝕或沿晶腐蝕的現象產生。

除了晶界腐蝕之外，還可發現孔壁表面有呈現階梯狀的排列，表示整個晶粒也被腐蝕，
可發現成排的孔蝕坑。

電解電壓 5V 時為接近極限電流區之電壓，一般電解拋光常在此區域下實行，
但由于電解時反應激烈，大量的氣泡產生，瞬間移除大量的材料，不容易控制其
加工量，雖然有不錯的表面粗糙度，但由于本實驗為孔徑約 100μm
之微細孔，為求符合微細加工的品質與精度，所以并不適合使用此電壓

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