本文標題："材料焊接熔蝕檢測體視顯微鏡-微粒尺寸"
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材料焊接熔蝕檢測體視顯微鏡-微粒尺寸
火口熔蝕
我們以2.5 kW及4.5 kW之功率分別測試氬氣電漿與空氣電漿操作十分鐘之
火口熔蝕率，電漿氣體流量25 lpm，
熔蝕產生的微粒之SEM顯微觀測，可發現微粒尺寸皆為納米尺度。熔蝕率的計算如表3.6所示；同一種電漿其
高功率之熔蝕率均高于低功率，但仍位于同一數量級；空氣電漿的熔蝕率較氬氣
電漿高二個數量級，比之文獻10-6~10-7 g（克）/C（庫倫）
空氣電漿之熔蝕率相當大，
此乃由于本系統陽極（火口）部分并無水冷，使得陽極溫度較一般有水冷之系統高，而溫度
愈高的銅愈容易與電漿中的氧氣產生氧化反應，同時放出大量熱能，此生成的熱
能又部分回饋到陽極身上，週而復始，使得熔蝕率大增，
火口經熔蝕后，可發現空氣電漿僅操作十分鐘火口已損耗嚴重，從材料制備的角度來
看，空氣電漿熔蝕率太高將造成產品純度降低，電漿氣體使用惰性氣體將可有效
減少產品中的雜質
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