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本文標題："微機電系統(tǒng)制程制作微面鏡光學元件- 光學顯微鏡廠家"

發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------ 人瀏覽過-----時間：2013-3-27 17:3:12

微面鏡之設計與制作及其反射特性之分析

體型微細加工方式設計出微鏡面，并利用微機電系統(tǒng)制程技術制作微面鏡光學元件。

利用8、10、12支懸臂樑，在懸臂樑上鍍金或白金當作反射之微面鏡元件，

運用兩種不同材料之膨脹系數(shù)不同與殘留應力，使懸臂樑造成向上翹曲，形成一微面鏡結構。

模擬分析與實作量測兩部份，

光學分析及光度分析的設計軟體，模擬懸臂樑翹曲之角度，

利用氦氖離子紅色雷射與氬離子綠色雷射兩光源，照射至微面鏡元件上，

量測其因反射所造成之光能量損失。在實作量測方面，利用兩光源照射至微鏡面元件上，

利用光能量儀器量測經反射所造成之光能量損失。

此研究為本實驗室新開發(fā)之研究產品，在應用方面廣泛，可當作任何需要反射之元件，使機器微小化而不佔空間。

關鍵字：微面鏡、微機電系統(tǒng)、APILUX

tags:技術,科學,金相顯微鏡,上海精密儀器,

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