本文標(biāo)題："以激光為光源設(shè)計具光譜和顯微鏡整合的光學(xué)量測儀"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------
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共焦顯微鏡售價極高且系統(tǒng)改裝不易，
以光學(xué)元件建構(gòu)而成的共焦顯微鏡，并配合各式光譜量測技術(shù)與差動式共焦顯微術(shù)，進(jìn)行設(shè)計具光譜及顯微術(shù)整合的光學(xué)性質(zhì)量測系統(tǒng)。
裝置了兩套共焦顯微術(shù)系統(tǒng)，包括螢光共焦顯微系統(tǒng)與差動式共焦顯微術(shù)系統(tǒng)，
前者以螢光激發(fā)雷射為光源，后者以高穩(wěn)定性單頻雷射為光源
使用高穩(wěn)定性(擾動< 0.1%)氦氖雷射為光源，并利用極化分光器與二分之波長板
與四分之波長板作強度調(diào)變與回授光分離，使用 PI 公司所生產(chǎn)的壓電驅(qū)動控制平臺，作樣
品二維掃瞄與物鏡縱向驅(qū)動的奈米級驅(qū)動控制。光偵測器所收集到的共焦光子信號經(jīng)放大
后，透過類比/數(shù)位信號擷取卡，利用 LabVIEW 軟體進(jìn)行信號擷取與三維掃瞄的自動控制
使用 532 nm 波長的雷射為光源，與數(shù)值孔徑 0.65 的 40X 物鏡，以直徑 1 µm 的螢光
小球（激發(fā)中心波長 540 nm，放光中心波長 560 nm）為樣品，進(jìn)行螢光共焦顯微術(shù)的 X-Y
二維掃瞄，其結(jié)果如圖三所示。掃瞄面積為 50 x 50 µm2，影像中心的螢光小球直徑（箭頭
標(biāo)示處）經(jīng)影像強度剖面分析，縱向與橫向的半高全寬值分別為 1.0 µm 與 1.5 µm，驗證了
共焦顯微系統(tǒng)的二維解析能力與螢光影像能力
開發(fā)制作了微流道晶片。以半導(dǎo)體材料為基材，采用光罩顯影與曝
光蝕刻的技術(shù)，并在微流道中間設(shè)計了柱狀的微米尺度結(jié)構(gòu)。柱狀微結(jié)構(gòu)每個直徑為 20
µm，柱狀中心間距為 30 µm。
柱狀微結(jié)構(gòu)的光學(xué)顯微鏡觀察結(jié)果以及差動式共焦顯微術(shù)的掃瞄結(jié)果
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以激光為光源設(shè)計具光譜和顯微鏡整合的光學(xué)量測儀,金相顯微鏡現(xiàn)貨供應(yīng)
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