本文標題："晶片微細加工品檢用金相顯微鏡-上海光學儀器一廠"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2013-1-31 5:4:31

晶片微細加工品檢用金相顯微鏡-上海光學儀器一廠

要造就如此微小又兼具傳導、震動、移動等機械功能整合于一身的感測器，

一般的機械加工方式均無法達成，唯有奈米電子MEMS可以實現微細加工的要求。MEMS即是在１塊晶片(矽和玻璃材料)上使用微加工的技術，

例如: 黃光圖形化、刻蝕、金屬電鑄、摻雜等手段，將機械功能(磁性傳感、移動齒輪、加熱)、和電氣功能(梳狀電刷開關、傳導導線)進行整合于1塊晶片上，

你可以在電子顯微鏡下看到如針尖一般大小的齒輪在轉動，或是如頭髮直徑一般細小的轉子在轉動中量測到角速度，再將能量轉移成傳感模式

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