本文標題："痕微量構劃封裝和微元件焊接檢測顯微鏡"
發布者：yiyi ------ 分類: 技術文章 ------
人瀏覽過-----時間：2017-6-15 19:4:49
痕微量構劃封裝和微元件焊接檢測顯微鏡
傳感器
具有高發展潛力的微系統技術與常規技術相比較，明顯的差異
在于傳感器技術方面。傳感器將是測量系統鏈中最薄弱的環節，因
此系統對傳感器的可靠性有了越來越高的要求，同時對傳感器的準
確性、敏感性、選擇性、壽命和與長時間工作漂移有關的穩定性也
有高的要求。特別是有關化學傳感器和生物傳感器方面的問題，這
些傳感器必須不受妨礙地暴露在未知的介質中，同時還要避免虛假
信號的影響。在汽車領域有一個問題，即汽油中的鉛含量導致尾氣
檢測系統的久探針中毒問題。在醫學領域，植人人體的傳感器維持
長時間的工作也是很困難的，生物相容性不僅意味著生物體不受外
來物的影響，而且意味著植人物也不受生物系統的排斥。如果生物
系統要排斥和溶解任何外來物，至少要形成保護膜組織來密封外來
物。
陽極粘接法
晶片·玻璃粘接
陽極粘接是在最近幾年發展起來的一種封裝和微元件防護以至整
個系統防護的有力工具。陽極粘接使一個微結構上的防護玻璃罩的
不可逆封裝變得更容易。
按照定義，微結構是由靈活的元件(如彎曲梁、振蕩鏡、線性
寸的件后尺高部然米和 ，痕微量構劃的數結上成件該劃構元用被
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