本文標題："電子微探分析儀之原理，實際上與掃瞄電子顯微鏡完全相同"
發布者：yiyi ------ 分類: 技術文章 ------
人瀏覽過-----時間：2012-6-21 18:1:50
電子探測光顯微分析(Electron Probe X-ray Micro-Analysis, EPMA)技術源1984年,為法國 R.Castaing (巴黎大學 A. Guinier 之學生)首創. 最出他將一具穿透式電子顯微鏡裝在一光學臺上,利用TEM 之電子束 打擊在試片上而產生X光。X光經由一圓弧形單晶分解成X光光譜，被電子束打擊到的區城，可藉一光儀系統來觀測．藉此裝置系統，可將目視的金相分析與顯微化學分析合在一起。以后，再經偵測技術及資訊處理的改進后，演變成今天的電子微探儀 (electron probe micro-analyzer) 。
電子微探分析儀之原理，實際上與掃瞄電子顯微鏡完全相同。電子束由一金屬絲加熱產生。經由二至三個磁控聚焦器，焦聚于lOnm至1um直徑之試片上，產生回射及二次電子之二次 放射，同時也會產生特性光譜，連續光譜以及長波光子之可見光。經由不同之偵檢器分別接收不同之放射信號，藉以分析試片之成分與原子結構。EPMA 除具備SEM 之一切功能外，且可完成顯微定性與定量分析。因此，EPMA 兼具顯微化學分析及金相顯微鏡之功能。
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