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本文標題："不同材料輪廓測量-不同材料對應的光學常數"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2016-7-3 21:52:38

不同材料輪廓測量-不同材料對應的光學常數

不同材料

只要物體的表面由單一材料構成，由于只引人了一個全場同一

的變化，光譜位相就不會呈現出問題。然而，當表面并排出現兩種

不同的材料時，對于不同的波長材料在反射時將會引入不同的相移

(除非它們都是折射率虛部k=0的介質材料)，而且在兩種材料交接

的邊界上測量得到的高度差是錯誤的。通過就測量中所使用的波長

了解不同材料對應的光學常數，可能校正這種差異

一般說來，當用干涉技術來測量薄膜或者厚膜時，不但是其厚

度，而且其頂部和底部的輪廓都能測量。薄膜干涉的光譜位相具有

一個多項式形式，多項式與所選擇膜的模型式是相匹配的，使用回

歸分析可以確定最佳匹配及薄膜的厚度。

為了得到更高的精度，需要知道系統色散引起的光譜相位，并

將其去扣除。可以利用計算大小來替代，不是計算光譜位相和確定

最佳匹配模擬光譜位相，而是可以利用計算幅度，并且這樣通過獲

得最佳匹配的模擬幅度大小來確定膜層的厚度。這些方法適用于光

學厚度從幾個微米到100nm的膜層。針對光學厚度小于100nm的膜層

，這種方法的靈敏度會明顯減小。

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