本文標題："計算機及高精度機械加工數字全息檢測技術"
發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------
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計算機及高精度機械加工數字全息檢測技術
微機電系統的數字全息檢測
隨著計算機及高精度機械加工技術的進步，微機電系統及微型元件
獲得廣泛應用．為保證微系統的質量，微機電元件的幾何尺寸及空間配
置精度的測量是一種關鍵技術．在該研究領域中，數字全息三維形貌檢
測獲得了重要應用．
氣流傳感器的形貌，其傳感關鍵部位是硅芯片上一個寬度約lmm的
方形的隔膜．穿過隔膜和底層的氣流變化將導致通過隔膜周圍空間的光
束變形．應變儀將這個變形轉化成光電信號后便能獲取氣流變化的信息
．很明顯，準確知道隔膜在給定氣流狀態的形狀對控制產品的質量非常
重要．
材料物性參數的檢測
對材料形變的測量測能獲取材料的許多重要物性參數，例如材料的
楊氏模量、熱膨脹系數及泊松比等．國內外在該研究領域不但已經取得
許多重要進展，一些測量技術已經獲得實際應用
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