本文標題："樣品表面間斷接觸式計量工具顯微鏡-樣品檢測"
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樣品表面間斷接觸式計量工具顯微鏡-樣品檢測
間斷接觸式原子力顯微鏡
間斷接觸式原子力顯微鏡被開發作為不會產生破壞性的摩擦力而得到高分辨
率的測量方法。當懸臂掃描樣品表面時，其以共振頻率振動。探針逐漸接近樣品
表面直到間斷地接觸到樣品表面。探針與樣品的接觸導致振幅減小。一旦探針接
觸到樣品表面，共振振幅數值與探針到樣品的平均距離成正比。如果探針與樣品
間的平均距離為lOnm，共振振幅峰值間的距離大約為20nm。
水平共振設置在
自由空氣振幅的下面，并且通過反饋系統調整懸臂與樣品間距，當探針通過樣品
表面掃描光柵時，使振幅保持一常數。因為探針只是與樣品間斷接觸，探針施加
在樣品上的摩擦力可忽略不計，并且損害性的側向力也能被消除。振動振幅可設
置足夠大(10～lOOnm)，當探針接觸到表面時，懸臂有足夠的回復力(因為懸
臂的彎曲)防止探針在污染層被彎液面力或靜電力擋住。
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