本文標題："冶金學機械和熱焊樣品分析技術-細小器件測量顯微鏡"
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冶金學機械和熱焊樣品分析技術-細小器件測量顯微鏡
對金屬與半導體接觸，除個別一些特例以外，都只是在一般
現象上的了解。對大多數器件來說，只要這種接觸根本不影響或
根本不支配各個器件的最終性能或使其退化就滿足了。但是，已
經看出，在把接觸直接做到器件(特別是轉移電子器件；碰撞雪
崩渡越時間二極管比較少)的有源區時，用砷化鎵和磷化銦制造
的器件中，這種接觸性質都能支配器件的性能。如能了解這些性
能并能加以控制的話，就可以改善器件的性能。對于可控勢壘來
說，異質結結構可能比金屬一半導體接觸工藝更合適。接觸的長期
性能是相當重要的。大多數微波器件是在高電場高溫下工作的
——冶金學上的問題已經解決。遺憾的是，建立任何一種結構的
可靠性都需要花一定的時間，因此，新的接觸結構需要很長的發
展時間。
通常接觸性質是在低場下檢定的，而在實驗上可以外推到高
場區。要了解金屬一半導體在工作條件下的相互作用，尚有許多
工作要做。
在脈沖器件中，因為脈沖長度、占空因子和各種組分的熱擴
散率成為決定性的因素，所以分析必須更嚴格。用珀爾曼對砷化
鎵和磷化銦脈沖轉移電子器件的分析結果就能得到可與實驗結果
相比的相當好的計算值。
為了使結構兩端的熱阻抗減至最小，我們需要：
①制造小直徑的器件，必須小于100微米。
②對于高功率發生器，采用多陣列韻小直徑器件，使擴展電
阻減至最小。
③在全部金屬一金屬和金屬一半導體的界面處達到具有良好的
機械和熱焊接性能。
④如果其它參數許可的話，應鋪造霰散熱器結構的器件。
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