本文標題："表面粗糙度的測量和表面粗糙度測量工具顯微鏡"

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表面粗糙度的測量和表面粗糙度測量工具顯微鏡

隨著科學技術(shù)的發(fā)展，在機器和儀器制造中，除要求零件具有足

夠的尺寸、形狀精度以外，還對零件表面質(zhì)量提出要求。有時零件

的表面粗糙度直接影響機器和儀器的工作可靠性和使用壽命，

所以表面粗糙度的測量和表面統(tǒng)計特性的確定對許多應用領域是非

常重要的。例如，光學零件的表面粗糙度會產(chǎn)生散射光和表面吸收

而影響成像質(zhì)量，因此在高能激光系統(tǒng)、現(xiàn)代天文望遠鏡、跟蹤系

統(tǒng)、以合肥市其他現(xiàn)代光學系統(tǒng)中，對光學零件的表面質(zhì)量提出了

愈來愈高的要求。又如磁鼓、磁盤等現(xiàn)代計算機心不可少的外存儲

單元，光盤技術(shù)中所用的光盤，影響單位面積上存儲信息量的主要

因素是表面粗糙度。薄膜零件和微電子技術(shù)中，微細電路的穩(wěn)定性

和可靠性在很大程度上取決于這些零件基片的表面平滑度。

因此表面粗糙度也是一個重要的技術(shù)經(jīng)濟問題，愈來愈引起人們的

重視，而成為現(xiàn)代光學測量技術(shù)中一個十分活躍的技術(shù)分支。

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