本文標題："TEM電子顯微鏡樣品測量面積是極小的-光學儀器常識"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2014-12-22 17:39:45

TEM電子顯微鏡樣品測量面積是極小的

在分析TEM樣品時，必須懂得測量面積是極小的，因此，

測量結果末必能代表整塊試樣，應當采用盡可能低的放大倍

數而是要許多位置上隨機地選擇試驗區域。用復型測定沒有

大的問題。應用的方法同反射光的光學顯微鏡方法也一樣，

除非是由于用了很高的放大倍數而使測量面積很小影響統計

學的測量精度。

SEM具有光學顯微鏡和大部分TEM所復蓋的放大倍數的范圍

，但制樣方法和光學顯微鏡一樣，雖然對SEM觀察時，為改

善圖象反差，常常把試樣浸蝕得深一些，但是使用現代化的

儀器則不一定有深浸蝕的必要。對于高倍下的測量要得到最

好的精確度，要求淺浸蝕，其實，若各相之間的原子序數差

別較大而足以產生滿意的背散射電子圖象的話，許多試樣用

不著浸蝕就可進行觀察，深浸蝕會增加視在尺寸、體積分率

和第二相粒子數而減少它們的間距，深浸蝕試樣對研究形狀

和大小很有用，但任何獲得其他情報的嘗試會導致錯誤的結

論。當試圖用SEM圖象或照片進行測量時，應避免試樣相對

于電子束的傾斜，否則會使分析復雜化。

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