本文標題："取樣樣品輪廓圖分析用微小形狀檢測用光學(xué)顯微鏡"
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取樣樣品輪廓圖分析用檢測顯微鏡
輪廓波形象表面本身一樣是很復(fù)雜的，是各個發(fā)生的頻
率結(jié)合起來的總和所形成的，輪廓圖則是其可看見的表象。
用肉眼來區(qū)別頻率是不容易的，最多只能找出少數(shù)幾個有規(guī)
則重復(fù)的微觀不平度形成的頻率，但復(fù)雜的波形經(jīng)過電技術(shù)
處理就能將各個形成的頻率都分析出來。
放大器的波段寬度總是比記錄器的大，所以這個因素?zé)o
需在這里考慮。‘放大器的頻率反應(yīng)可以(和經(jīng)常)通過濾
波器加以改變.使用濾波器來減少高些或低些的頻率的相對
波幅，就有可能分辨出波形中的粗糙度和波紋度的構(gòu)成成
分，
采用濾波器也必須取一個適當(dāng)?shù)慕厝〔ㄩL值，這相當(dāng)于在
表面上選擇一個適當(dāng)?shù)娜娱L度。
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