本文標題："固體表面的形貌顆粒測量(用SEM電子顯微鏡)-顯微分析儀器"
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固體表面的形貌顆粒測量(用SEM電子顯微鏡)-顯微分析儀器
TEM用來探測晶格缺陷的存在和相分配。最近已發展的掃
描TEM儀器能得到更寬區域的形貌，并降低高強度光束對樣品
的破壞。
如果樣品較厚，那么相互作用發生在樣品的表面，其產物沿著
一定的軌跡離開表面。在掃描電子顯微鏡中((SEM )，通常檢測的
是次級發射電子，電子束橫穿樣品表面進行掃描。對于反射技術，
非金屬表面必須鍍上一層薄金屬膜(大約10nm )，例如噴鍍金膜，
防止樣品表面電荷富集。
電子微探針能進行化學顯微分析以及SEM和BSE檢測，經
常被稱作分析電子顯微鏡(AEM)或電子探針顯微鏡(EPMA )，這
是因為入射電子束與表面作用的另外產物是X一射線光子，它的波
長和能量取決于元素的種類和引起發射的電子層。分析這些光子
能對表面進行局域化學分析，分辨率可達15m。使用的x一射線分
光光度計有兩種類型:
·波長色散分光儀(WDS)，該儀器對波長進行掃描，波長與
檢測到的激發光子相對應，利用安裝在分光儀上的晶體的衍射，控
制晶面和光子束之間的角度。
·能量色散分光儀(EDS)，其中一個多通道分析器產生光子
能譜。
在這兩種情況下，譜峰對應于特定的元素，而其峰面積對應于
所含元素的百分含量。WDS的分辨率優于EDS，盡管如此，到目
前為止前者僅適用于相當少的元素。但是，對于輕元素來說，儀器
在自然狀態并采用防污染裝置，對碳以上的元索都可用WDS定
量分析。
TEM裝置也能進行顯微分析，EDS是目前最常用的檢測技
術，與EELS一起用于檢測輕元素
令人感興趣的應用之一是固定與特定元素相對應的波長(或
能量)可以獲得固體表面的形貌(用SEM)或固體樣品(用STEM)
的形貌，并顯示元素的分布情況。這對腐蝕現象、表面，尤其是電極
表面的構成提供了非常有用的信息。
利用新發展的紅外掃描顯微鏡(SIRM)能夠補充EPMA提供
的信息，尤其是吸附物的原位鑒別。
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