本文標(biāo)題："AFM顯微鏡的測(cè)量原理-顯微儀器制造廠商"
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AFM顯微鏡的測(cè)量原理-顯微儀器制造廠商
原子力顯微鏡（Atomic force microscopy ，AFM ）
掃描隧通顯微鏡的主要局限是不能使用絕緣的基體。然而在能夠
發(fā)生隧進(jìn)電流的距離，探針尖與基體間存在引力或斥力，這種力與撰
體導(dǎo)電與非什電的性質(zhì)無關(guān)。
為了測(cè)量這種力，將針尖固定在軟的懸臂彈簧的一端，針尖的偏
移可以用光學(xué)的。為了測(cè)量法或光束偏移法監(jiān)測(cè)。這些忿臂彈簧是由
硅、二氧化硅或氮化硅（橫向尺寸100 μm ，厚Iμm ）用光刻微技
術(shù)制成的。一端連接一個(gè)小金剛石針尖，
通常這種方法的分辨率沒有掃描隧道顯微鏡高。然而這種方法可
以應(yīng)用于一些聚合反應(yīng)，如蛋自質(zhì)在絕緣表而的吸附和陽極氧化膜的
腐蝕等。
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